星弧涂层科技有限公司一直站在国际PVD技术的前沿,拥有10多年的真空设备生产、服务和研发经验,一直致力于PVD技术的工业化应用,并取得了卓越的成果。公司积累了丰富的PVD设备设计和制造经验,并可根据客户的具体要求设计制造高品质的真空镀膜设备。
Jupiter系列PVD涂层设备:1)真空室有效尺寸- ø1500x1100mm 2)抽气系统-机械泵+罗茨泵+扩散泵 3)靶-5个:磁控溅射-2个;磁控阴极弧-2个;离子源-1个 4)工件转架-10~12个带自转行星转架,每个工件均可自转 5)控制系统- PLC用于工艺过程控制;PC用于控制界面 6)涂层- TiN,TiAlN, CrN, TiAlCrN等 7)主要应用领域-一般切削刀具,成型及冲压模具,耐磨零件。
Diamant系列PVD/IAPVD涂层设备:1)真空室有效尺寸- ø1300x1100mm 2)抽气系统-机械泵+罗茨泵+扩散泵 3)靶-6个:磁控溅射-2个;IAPVD源-4个 4)工件转架-12个带自转行星转架,每个工件均可自转 5)控制系统- PLC用于工艺过程控制;PC用于控制界面 6)涂层- TiN,TiAlN,DLC等 7)主要应用领域-耐磨零件和自润滑零件,高档工模具,特殊切削刀具。
Seeyu系列PVD涂层设备:1)真空室有效尺寸- ø1200x900mm 2)抽气系统-机械泵+罗茨泵+分子泵 3)靶-6个:磁控溅射-1个;过滤阴极弧-3个;离子源-2个 4)工件转架-12个带自转行星转架,每个工件均可自转 5)控制系统- PLC用于工艺过程控制;PC用于控制界面 6)涂层- ta-C, DLC, DLC-Al等 7)主要应用领域-高档工模具,耐磨零件和自润滑零件,特殊切削刀具。