伺服倾角传感器是由非接触式位移传感器、力矩马达、误差反馈电路和悬臂质量块组成。当传感器发生倾斜时，悬臂质量块便离开原来的平衡位置，非接触位移传感器检测出变化后将位置信号送入误差和放大电路，一方面传感器输出与倾角成一定比例的模拟信号，另一方面，该信号经反馈电路送入力矩马达线圈。此时，力矩马达会产生一个与悬臂质量块运动方向相反、大小相等的力矩，力图使悬臂质量块回到原来平衡的位置。这样经过一定的时间后，悬臂质量块就停留在一个新的平衡位置。这时，传感器输出的信号才是真正有效的信号。该输出信号一般为直接电压信号，输出电压与角度值成正弦关系。 特点： 非线性高； 重复性好； 分辨率高； 频率响应快； 量程范围宽。 应用： 移动天线稳定； 各种平台调平； 桥梁结构健康监测； 机车控制； 大坝监测； 轨道测量； 性能指标： 测量范围 ±1° ±3° ±14.5° ±30° ±90° 灵敏度 286.5V/g 95.5V/g 20V/g 10V/g 5V/g 非线性 0.05%FRO 0.05%FRO 0.02%FRO 0.02%FRO 0.05%FRO 输入轴对准性 0.1° 0.15° 0.25 ° 0.5° 1.0° 零点输出 0.1VDC 0.04VDC 0.02VDC 0.02VDC 0.02VDC 零点温漂 0.005V/℃ 0.003 V/℃ 0.001V/℃ 0.0005V/℃ 0.0003V/℃ 灵敏度温漂 400ppm/°C 300ppm/°C 100ppm/°C 60ppm/°C 60ppm/°C 固有频率 0.5Hz 2Hz 15Hz 20Hz 40Hz 频率响应 0.5Hz(-3dB) 2Hz(-3dB) 15Hz(-3dB) 20Hz(-3dB) 40Hz(-3dB) 输出阻抗 100Ω 输出信号 ±5VDC或4~20mA 噪声 0.002 Vrms 分辨率 1µradian(0.000057°) 电源电压 ±12 ~ ±18VDC 消耗电流 ±15mA 工作温度 -18~71℃ 储存温度 -60~90℃ 振动 20 G rms 冲击 1500g, 0.5ms, ½ sine 密封 MIL-STD 202, Method 112