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基本参数
波长范围：166～847nm
分辨率＜0.008nm，在200nm处
短时间稳定性：RSD%≤0.5%
长时间稳定性：RSD%≤2%
部分元素检出限：As,189.0nm,6ppb;Ca,317.9nm,5ppb;Mg,285.2nm,2ppb;Cd,226.5nm,0.5ppb;Pb,220.
全谱直读型台式ICP光谱仪参考技术指标
一、仪器类型：全谱直读型台式ICP光谱仪，需配外置冷却水循环系统
二、光学系统：全新竖式光室设计，全封闭驱气型，采用精密温控恒温系统，高能量中阶梯光栅石英棱镜交叉色散内光路，波长和级次二维色散，所有光学元件均使用全反射球面镜，高光通量和低图像失真。
光栅：采用超高分辨干涉刻制技术，52.91条/mm，63.5度闪耀角
棱镜：交叉色散，采用双通过设计确保成像质量，9.5度角，超紫外熔融石英
波长覆盖：166~847 nm全波长覆盖，Al 167.120 nm测试可获得更高紫外灵敏度，对于K 766.490 nm和Na 818.326 nm长波同样性能优异
焦距：383 nm，紧凑型光室
分辨率：0.007 nm在200 nm处的光学分辨率，采用大衍射角高的光谱级次，在短焦距下可获得高分辨率
光路：驱气型光室，可以是氩气或者是氮气，驱气量0~2升/分钟，典型1升/分钟即可获得优异的紫外性能，特别对于As和P的测定。外光路设计，对于垂直炬可选择观测高度，对于双向炬可选择观测方式。
波长校准：采用C、N和Ar线自动波长校准程序，确保长期波长稳定性
光室恒温：38 /- 0.1℃精密光室恒温，恒温速度小于20分钟。
三、检测器：新一代电荷注入式检测器（CID）是高性能的固体成像系统。Thermo的CID是能够传输高反差/低噪音图像的加强型传输器件，它可以对分析范围内的所有波长进行定性定量，而消除了电荷溢出（Blooming）现象。
检测器模式：随机读取积分（RAI）经选择的分析波长以信噪比的方式同时积分，这样光所产生的电荷量可以保持在CID的线性范围内。它是利用了CID所的非破环性读取（NDRO）功能而获得的。NDRO允许观测任意曝光点的任何像素单元上的信号。在这种方式下，
像数与像数之间的读出频率随着发射强度的实时观测而各不相同，因而得到宽广的动态线性范围。
阵列尺寸：291,600个独立寻址单元，540
