美国 HVA真空闸阀在气体管路系统应用
半导体工厂, 太阳能光伏, LED, 镀膜等行业在工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 美国 HVA真空闸阀广泛用在气体输送环节 (气体管路系统) , 起到真空隔离密封作用.
美国 HVA 超过40年的阀门研发生产经验, 上海伯东美国 HVA闸阀口径 DN 16 至 800 mm, 手动或气动控制, 超高真空 1x10-10 mbar, 与友厂对比, HVA闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能, 小漏率