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本工程采用紫外UV光解工艺将有机废气成分中大部分的分子化学进行分解，并同时分解氧气产生大量的氧化能力很强的臭氧，这些臭氧会将有机废气分解后的游离态原子和分子基因进行氧化，生成CO2和H2O；由于有机废气一般成份较为复杂，部份有机分子的化学性能较高，甚至高于光解的紫外线所具有的能量，这部份废气成份仅靠光解就无法被紫外光分解。等离子工艺对低浓度的有机废气处理有着立竿见影的效果，经过光解净化后有机废气深度已经大大降低，而且等离子净化工艺对有机分子性能没有具体限制，因此，在光解之后增加一道等离子工艺，可以彻底将有机废气净化，达到其他单独工艺无法达到的效果。经实际案例运用后检测，等离子光解组合工艺设备对有机废气的净化率可稳定在90%以上。
