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光学检测仪
视觉系统
工业相机 2M像素彩色数字相机
分辨率10-20 um可调
视野尺寸32 x 24mm (分辨率：20um)
取像与运算时间250mm/FOV 4-5FOV/s
运动系统
X/Y轴驱动系统 交流伺服驱动系统
X/Y轴编码器分辨率 0.3um
机械运动机构 精密级滚珠丝杠 + 滑轨
运动速度 500mm/s
运输轨道
适用基板尺寸 50x50 – 330x250 mm
适用基板厚度 0.3 - 6 mm
可适应基板弯曲度 ±3 mm
使用基板上下净高 上：30 mm 下：60 mm
外型尺寸
长 x 宽 x 高: 700 x 1205 x 1362 mm (不含信号灯)
设备重量 460kg
电源规格
单相交流220V ±10%, 50/60Hz
气压要求 0.5Mp
通讯方式 标准SMEMA接口
