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真空泵是用各种办法在某一关闭空间中发生、改进和维持真空的设备。真空泵能够界说为：运用机械、物理、化学或物理化学的办法对被抽容器进行抽气而取得真空的器件或设备。跟着真空运用的开展，真空泵的品种已开展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的作业原理，真空泵基本上能够分为两品种型，即气体传输泵和气体捕集泵。跟着真空运用技术在出产和科学研究领域中对其运用压强规模的需求越来越宽，大多需求由几种真空泵构成真空抽气体系一起抽气后才能满意出产和科学研究过程的需求，因为真空运用部分所涉及的作业压力的规模很宽，因而任何一品种型的真空泵都不可能彻底适用于一切的作业压力规模，只能依据不一样的作业压力规模和不一样的作业需求，运用不一样类型的真空泵。为了运用方便和各种真空技术过程的需求，有时将各种真空泵按其功能需求组合起来，以机组型式运用。各种真空泵的作业原理往复式真空泵（简称往复泵）又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一。它与旋片式真空泵相比较，它能被制成大抽速的泵；与水环式真空泵相比，效率稍高。这类泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较大等。其在很多场合可由液环式真空泵所取代往复泵的结构和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右位置时，气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内终达到某一稳定的平衡压力。为提高抽气效率，一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来
