洁净车间中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产适宜温度范围为35—45%。无锡市恒盛净化空调有限公司在拥有一支施工经验丰富,训练有素的施工队伍的同时,良好的检测手段,为确保净化工程的质量奠定了坚实的基础,检测、检验设备居同行水平。欢迎新老客户致电!洁净车间--物理式净化方式1.吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质,它具有高度发达的孔隙构造,活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积,能与气体(杂质)充分接触,从而赋予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样,所有的分子之间都具有相互引力缺点:普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体,效率较低、易脱附。2.机械性过滤—HEPA网(HEPA(HighefficiencyparticulateairFilter),中文意思为空气过滤器,达到HEPA标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。无锡市恒盛净化空调有限公司是从事净化工程、净化除湿工程、无尘室、手术室及净化产品、消声环保设备的生产安装公司。产品广泛应用于电子,制药,化工,食品,化妆品,科研等行业。我公司技术力量雄厚,设备,具有从设计,制造,安装,调试的能力。欢迎新老客户莅临指导!洁净车间的化学净化方式缺点:一,化学反应过后生成的物质很可能带来二次污染.实践过程中常常出现二次检测超标的现象二是是在不改变化学成分的基础上吸收甲醛,降低空气中的甲醛含量,但是这样的方式治标不治本,甲醛容易再次释放出来。药剂、催化法---冷触媒精华工作原理:冷触媒,又称自然触媒,是继光触媒除臭空气净化材料之后的又一种新型空气净化材料,能在常温条件下起催化反应,在常温常压下使多种有害有味气体分解成无害无味物质,由单的物理吸附转变为化学吸附,边吸附边分解,祛除甲醛、苯、二甲苯、甲苯、TVOV等有害气体,生成水和二氧化碳,在催化反应过程中,冷触媒本身并不直接参与反应,反应后冷触媒不变化不丢失,长期发挥作用。冷触媒本身无毒、无腐蚀性、不燃烧,反应生成物为水和二氧化碳,不产生二次污染,大大延长了吸附材料的使用寿命。无锡市恒盛净化空调有限公司是从事净化工程、净化除湿工程、无尘室、手术室及净化产品、消声环保设备的生产安装公司。产品广泛应用于电子,制药,化工,食品,化妆品,科研等行业。我公司技术力量雄厚,设备,具有从设计,制造,安装,调试的能力。欢迎新老客户莅临指导!