产品概述:
FS4000是广州迪川仪器仪表有限公司采用的微机电系统(FMEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)
FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式,易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸:
技术参数
性能参数 FS4003 FS4008 单位
通径 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1
精度 ±(1.5 0.2FS) %
重复性 0.75 %
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 0.12 %/oC
响应时间 100 ms
工作电源 8~18Vdc,100mA
输出方式 线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
流量压损 100 600 pa
工作压力 0.5 MPa
工作温度 -10 ~ 55 oC
存储温度 -20 ~ 65 oC
工作湿度 <95%RH(无结冰、无凝露)
机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式 空气(或其他气体),20oC,101.325kPa
重量 57(带R1/4,BSPT1/4接口)
71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头) g