固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ，常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要，提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。固态射频电源是市场上先进级别电源，可以应用于所有等离子加工，包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 等和集成电路，太阳能电池，平板显示器，LED，数据储存设备的制造。
其特点是：平率稳定度±3%
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固态射频功率源
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成都沃特塞恩电子技术有限公司
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