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主要特征
1. 通过自动定位功能提高操作性 测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。
2. 微区膜厚测量精度提高 通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3. 多达5层的多镀层测量 使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。http://www.huanyitest.com
4. 广域观察系统（选配） 可从较大250×200mm的样品整体图像测量位置。
5. 对应大型印刷线路板（选配） 可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6. 低价位 与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。
