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特征：直线度可达10umX轴较大6m Y轴0.5m行程以线性滑轨架构之定位平台良好接地设计防止噪声干扰Z向震动可达奈米等级以下较大速度可达5m/s标准重现精度1um或以下位置回馈系统分辨率较低可达50nm
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直线轴承 http://www.cnhiwin.com/ 直线轴承
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螺杆支撑座 http://www.qdtbi.com/pl/l1061.html 螺杆支撑座
