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日本ULVAC在提供各种真空设备的同时，还提供各种真空泵，真空计测，氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。
型号 PMB-001C,CM PMB-003C,CM PRC-003A PRC-006A
排气速度 50Hz 95 280 280 500
(m3/h(L/min)) (*1) (1580) (4670) (4670) (8330)
60Hz 115 330 330 600
(1920) (5500) (5500) (10000)
吸气口较大压力 50Hz 9.3 x 103 1.2 x 103 1.3 x 103
(Pa; PMB-C only)(*2) 60Hz 6.2 x 103 9.3 x 103 1.1 x 103
较大容许压力 50Hz 8.0 x 103 4.0 x 103 7.3 x 103
(Pa; PMB-C only)(*2) 60Hz 5.6 x 103 3.3 x 103 6.0 x 103
到达压力 (Pa) (*3) 4.0 x 10-1
驱动压力(Pa) to 1.0 x 105 (PRC-A,PMB-CM)
功率 (kW) 0.4(2) 0.75(2) 2.2(2)
(number of poles) (*5)
油 (*6) ULVOIL R-4
油量(L) 0.35 0.7 1.5
冷却水 Cooling method Air-cooled Air-cooled, water-cooled Water-cooled
Primary pressure - 0.3
(MPa)
Outlet/inlet differential - 0.05 0.01
pressure
(MPa)
Flow rate - 2
(l/min)
Temperature - 5 to 30
(
