X射线光电子能谱仪(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器,主要用于固体材料的表面(2~3nm深度)元素成分和价态的定性和定量分析。Kratos公司作为世界上较早生产商品化X射线光电子能谱仪的厂家之一,其产品在世界上许多的大学、科研机构和企业公司中都有应用。
测试内容: (1)提供样品表面和内部成分分析,可采用氩离子溅射处理,同时可进行剖面AES分析; (2)固体样品可提供<50oC角度侧倾扫,提供表面 2-10nm精细元素分布分析; (3)可进行微区元素分析; (4)仪器精度:0.05eV。 应用范围: 电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析,主要使用范围如下:(1)半导体大规模、超大规模集成电路的研究; (2)冶金工业:寻求各种表面处理技术,以获得材料的特殊性能,如耐磨性、高硬度,耐腐蚀性等;(3)固体化学;研究固体的表面吸附,表面反应和表面化学状态;(4)材料科学:研究材料表面的成分和结构,探索表面性能。