*1. 分辨率表示连接了ZX-EDA时的线性输出的波动范围(±3σ)。电源接通经过30分钟后的值。
(表示将ZX-EDA的可设定平均次数设定为64次,将本公司标准检测物体置于测量范围的中心距离上时的测量值。
()内表示平均次数设为4,096次时的测量值。)表示工件为静止状态的重复精度,并非表示距离精度。
在较强的电磁场内,有时无法满足分辨率的性能。
*2. 线性度表示测量本公司标准检测物体时,相对于位移输出的理想直线的误差。 线性度及测量值或因对象物体而异。
*3. 温度特性是在测量范围的中心距离上测量本公司标准检测物体的值。
*4. 环境温度只限传感头部。前置放大器部为-10~+60℃。
*5. 环境温度25℃时的值。
*6. 并非耐水结构,不可在蒸汽中使用。