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单级光束分光镜（Single-pass THz Beam Splitter）
材料
HRFZ-Si
类型
平面-平面
有效尺寸
150
直径公差
+0.0/-0.1
厚度公差
+/-0.1
通光孔径,%
>=90
最小平行度
3
表面质量
60/40
表面精确度
偏离理想平面+/-0.1
透射/反射比（%）
54/46
多通道光束分光镜（Multi-pass THz Beam Splitter）
材料
HRFZ-Si
类型
平面-平面
有效尺寸
150
直径公差
+0.0/-0.1
厚度公差
+/-0.1
通光孔径,%
>=90
最小平行度
5
表面质量
60/40
表面精确度,λ=633nm
1
透射/反射比（%）
54/46
