天寒水汽捕集泵、低温冷冻机
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,
迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、
获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类:
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。
适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,
避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。
由于系统处于真空状态,无需除霜装置。