云熙机电科技廊坊有限公司
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真空直线平台:
真空步进电机丝杆平台, 真空电机直线滑台, 真空直线平台,真空滚珠丝杠平台
双轴真空丝杠平台,三轴真空丝杆直线平台
AML的超高真空直线丝杆平台提供长行程,具有小高度可以负荷达10kg,他们有广泛间隔的“五辊”滚筒导轨在简单的复合机制中是有用的扭转载荷小。他们是制造使用耐真空的特殊材料,动力使用AML的耐高真空步进电机步进电机。直线运动由金刚石研磨的并校正的丝杆和螺母配合,精密研磨以良好的精度并将预紧丝杠位置稳定性消除齿隙。
真空平台指标
行程25-250mm , 每步的分辨率可以达到1u,零间隙,高刚性结构,负载可以达到50kg。可以直接搭载XYZ运动平台。真空度范围是:10^10mbar以内。使用交叉滚珠导轨运动,使运动精度更高。