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阿尔卡特高真空技术有限公司生产的复合式分子泵。该产品具有抽速大，处理气体流量能力强，稳定性高等特点，且使用方便。功能和优势紧凑型设计，包括完全集成的控制器创新性自传感轴承系统数字化5轴控制与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%可以配置为运行腐蚀性制程自动平衡系统(ABS)标准自动减振(AVR)标准列于UL中，具有CE标记，符合SEMI?S2真空泵的冷却方式如下：1、通过真空泵及油分离器表面散热。2、通过驱动电机的风扇轮散热。3、通过工艺气体。4、通过来自真空泵轴上的风扇的气流。
