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2.冷凝泵的点检①冷冻机运行平稳。②马达旋转为顺时针方向。③温度、真空度正常。④泵体外侧有冷凝水存在,否则,需进行再生。⑤H2蒸汽压温度计在室温状态(即暴露在大气中)的值在4.7～5.7K间。否则,温度计可能有问题。3.压缩机点检①He气压、水流量、水温、油位正常。②压缩机运转正常。4.故障查找4.1真空不良可能产生的原因。①真空安全阀泄露。②冷板安装不正确、劣化、再生不良。③前级泵抽气时间过长,使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。④制冷温度达不到20K以下:a1冷冻机制冷能力劣化;b1压缩机压缩能力降低(很少发生);c1He气压力过低;d1He气充填压力过高。3N6冷凝泵检查方法:3N6冷凝泵a1确认整个系统漏气量,比如,每小时、每天漏率。然后再将压缩机与冷凝泵分开,先看压缩机泄漏是,然后与整个系统漏率相比,确认是部分漏;b1用水泡法或Snoop液体检查软管漏气;c1若前二项检查没有问题,则是冷凝泵泄漏。5.3N6冷凝泵冷凝泵的交换①3N6冷凝泵首先,使泵恢复常温。②3N6冷凝泵排出毒气,在前级泵抽的过程中用N2气冲洗。③3N6冷凝泵3N6冷凝泵在冷凝泵与大气连通后,断开压缩机与冷凝泵连接的电、气接头。注:a1记住He高、低压管的相互位置。b1在压缩机运转情况下换泵时,要先断高压后断低压。否则,高压不能迅速释放,马达电源会自动切断,并使真空安全阀打开冷凝泵的常规维护保养全解1.冷凝泵的再生1.1再生时间①根据运转周期,定期进行再生。②制冷能力降低时(温度达不到20K以下;真空度差),进行再生。1.2再生种类①通常再生:3～8h。②急速再生:当泵内含有毒性、腐蚀性、可燃性气体以及大量的O2水时,泵停止后,进行短时间再生。1.3急速再生的实施①关闭高阀,将加热N2或室温N2气由PurgeGas口导入泵腔,被稀释的毒性气体就会通过排气阀放出。这时,冷板的温度若达不到77K以上,泵室的压力就上不去,气体也就无法释放出来,而又会被凝缩在冷头上。用N2进行冲洗时,较好采用专用的放气管道来排出N2气。不得已要从安全阀释放时,由于易产生真空泄露,所以,有必要对安全阀进行清洗。②用加热毯进行加热。但要注意加热时,温度不能超过70℃。否则,会损坏冷凝泵。
